今天雅之雷德机电科技给各位分享一下真空镀模机上面用的旋片真空泵、真空泵等如何进行维护保养。平时整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中!

1、当粗抽泵(滑阀泵，旋片真空泵)连续工作一个月(雨季减半)，需更换新油。

方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

停旋片真空泵、滑阀泵时，要注意电磁阀（或气动阀）是否向泵腔充气，否则会引起回油，污染真空管道。因此，电磁阀（或气动阀）充气动作失灵时，必须及时进行修理或更换；

2、定期更换扩散泵油，真空镀膜机扩散泵油使用一段时间，约二个月两班：，因在长期高温环境，虽然较高真空时才启动扩散泵，但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应，扩散泵油在高温下也可能产生裂解，使其品质下降，而延长抽气时间。时间延长得太多时，应予更换。

方法：扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气（真空室充满大气后就可进行拆卸扩散泵和阀门），拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

3、真空泵

真空镀膜机机械泵油、维持泵油在使用二个月，油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因，而使用油粘性变差，真空下降，故需要更换。如为新设备，在使用头半个月即应更换，因在磨合期，油含磨合铁粉较多，会加剧磨损。

更换泵油要选用无杂质真空油，像德国好凯德进口真空泵油，莱宝进口真空泵油，这些大品牌用的油一般比较好，千万别买有杂质的真空泵油，因小失大！