edwards爱德华nXDS涡旋干泵

特性与优势

真空外壳中不需要使用润滑剂，完全密封可保证彻底的清洁和干燥真空，防止交叉污染

无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长

简单的单侧滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需最低程度的特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本，尽可能延长正常运行时间

改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本

先进的接口提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视