安捷伦 VacIon Plus 20 离子泵  

      安捷伦的 VacIon Plus 泵具有适合各种氮气抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 二级离子泵

通常用于通用超高真空 (UHV) 系统中，例如用于抽空电子器件，及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 二级离

子泵用于以恒定的压力抽除气体混合气体的超高真空应用中，因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中获

得超高真空。StarCell 的专利设计使其成为处理大量惰性气体和氢气的唯一离子泵。该泵同样可以最高速度和最大容量处

理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10-8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。

特点

单元室采用优化设计，可最大限度提高排放强度和抽速

离子泵在真空状态下运输

具有宽广的抽速范围（从 0.2 l/s 至 1000 l/s）

可提供多种泵体配置

联锁的真空密封穿导件连接方便，并可避免腐蚀和最大限度缩小泵的总体尺寸

三种不同的抽气单元可泵送所有可能的气体混合物

专用陶瓷绝缘子可延长泵的寿命

提供扫描电子显微镜 (SEM) 型