BGV 气动闸阀 ISO100概述

      BGV 地下室插板阀是一系列由不锈钢制成，用波纹管密封的地下室隔离阀。它们是与 VAT 协作设计的，可以使泵在

前级管线维护期间继续运行，从而使在严苛制程中运行的泵具有最高的可靠性和正常运行时间。BGV 阀适用于 1 x 10-9

mbar 到 1.2 bar（绝对）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作压力范围。这种阀在任何方向都可以承受 1.2 bar 的绝对压力，并

可承受阀密封两侧 1 bar 的差压。虽然 BGV 阀主要用于隔离半导体工厂地下室内的泵，但这些阀也适用于开启时需要 1

bar 差压并容许 20000 次循环的其他应用场合。