Alicat MCS系列质量流量控制器

多功能数字显示屏

显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力

低压损,无需预热

316L不锈钢本体&传感器

FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可选

RS-232多点式数字输入/输出(仅用于质量流量控制器)

0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选

可调节PID算法 (仅用于质量流量控制器)

内置39种气体可选 (30种惰性气体和9种腐蚀性气体)

200:1 量程可调比

可测量和控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量